產(chǎn)品型號：HTBX-II-FS300300-BJ　　

　　出光面積：300mm * 300mm　　

　　晶圓解膠機波長：365/385/395/405（多波段可選）　　

　　燈珠品牌：韓國首爾　

　　燈珠壽命：≥20000　　

　　其它功能：晶圓解膠機支持充氮氣功能　

　　一、設備特征　　

　　1、設備具有氮氣模式和非氮模式固化功能，非氮氣模式：可選自動或手動模式，晶圓解膠機自動模式下，由門禁感應控制 UVLED 開關(guān)；手動模式下，由觸摸屏控制UVLED開關(guān)。　　

　　2、氮氣模式：關(guān)門后點擊啟動按鈕開始充氮氣，當充氣時間及內(nèi)腔氣壓到達設定值， UVLED 開始照射并計時，照射時間到后，自動關(guān)閉UVLED并打開排氣閥，待排氣 完成后方可開啟安全門?！?/span>

　　3、設備支持充氮氣接口，充氮氣時間及壓力可調(diào)，腔內(nèi)氣壓實時檢測及過壓保護?！?/span>

　　4、設備具備數(shù)字調(diào)光、生產(chǎn)計數(shù)、歷史數(shù)據(jù)查詢等功能?！?/span>

　　二、晶圓解膠機光源特征　

　　1、壽命長　

　　UVLED使用壽命長，減少設備的投入成本。即開即關(guān)，無需預熱，開關(guān)次數(shù)不影響使用 壽命?！?/span>

　　2、高效節(jié)能　

　　晶圓解膠機UVLED的輸出波段集中，光電轉(zhuǎn)化率高，節(jié)能省電，固化速度快，生產(chǎn)效率高。

　　3、綠色環(huán)?！?/span>

　　符合RoHS，不含汞。